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超廉價(jià) 手機(jī)專(zhuān)用單鏡片掃描投影問(wèn)世
   中國(guó)投影網(wǎng)資訊     [2006-2-10 10:48:55]      編輯:姻姻
　　日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所開(kāi)發(fā)出了一種可低成本實(shí)現(xiàn)高清投影機(jī)的新技術(shù)，通過(guò)以二維方式掃描單鏡片，可顯示高清圖像。并在日前召開(kāi)的“MEMS 2006”會(huì)議上進(jìn)行了技術(shù)發(fā)表。用于掃描激光的鏡片驅(qū)動(dòng)元件采用金屬?zèng)_壓技術(shù)而不是MEMS技術(shù)。

　　單鏡片方式掃描顯示器能夠以較低的成本和較小的尺寸實(shí)現(xiàn)大屏幕顯示。比如，嵌入手機(jī)的投影機(jī)和筆型投影機(jī)等產(chǎn)品的實(shí)現(xiàn)將成為可能。為此，眾多企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)都在進(jìn)行開(kāi)發(fā)。

單鏡片方式掃描技術(shù)


　　此次的技術(shù)利用尺寸約為4mm×8mm、厚度約30～50μm的不銹鋼（SUS304）形成鏡片驅(qū)動(dòng)部。通過(guò)在這個(gè)部分形成PZT，即可實(shí)現(xiàn)基于壓電元件的致動(dòng)器。可通過(guò)施加給致動(dòng)器的電壓控制這種不銹鋼板起伏波動(dòng)。并利用這種運(yùn)動(dòng)掃描鏡片（1mm×0.3～1mm）。

　　據(jù)負(fù)責(zé)此次開(kāi)發(fā)工作的產(chǎn)綜研尖端制造工藝研究部門(mén)集成加工研究小組稱(chēng)，這項(xiàng)技術(shù)具有兩個(gè)特點(diǎn)：（1）利用金屬實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)部；（2）利用ADM實(shí)現(xiàn)PZT膜。由此就實(shí)現(xiàn)了低成本、高速驅(qū)動(dòng)。

　　通過(guò)（1）利用不銹鋼實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)部，能夠得到數(shù)十kHz的共振頻率，從而就能進(jìn)行高速掃描。要想顯示高清圖像，必須以36kHz的頻率進(jìn)行掃描。而此次開(kāi)發(fā)的技術(shù)現(xiàn)已確證能夠以50kHz的頻率進(jìn)行掃描。這是靠金屬?zèng)_壓加工實(shí)現(xiàn)的，與利用MEMS技術(shù)進(jìn)行硅加工相比，能夠降低成本。

　　（2）PZT膜的形成采用了ADM（aerosol deposition method，氣膠成長(zhǎng)法）技術(shù)。與基于普通MEMS工藝的薄膜形成技術(shù)相比，能夠減少工序、降低成本。



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